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中央真空係統簡介及特點
日期：2021-01-14 10:13
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摘要：
中央真空係統簡介及特點
中央真空係統是由真空泵、PLC程序控製係統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空係統。目前，該係統廣泛應用於電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。
該中央真空係統出廠時已經包括了抽速控製、進氣過濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程控製接口等。隻需要在現場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空係統。該真空係統的控製係統由先進的PLC控製係統經過編程後組成,以觸摸屏為人機界麵,實現對真空係統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護係統等的全自動化控製。
特點
