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中央真空係統簡介及特點

日期:2021-01-14 10:13
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摘要:
中央真空係統簡介及特點
      中央真空係統是由真空泵、PLC程序控製係統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空係統。目前,該係統廣泛應用於電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。
      該中央真空係統出廠時已經包括了抽速控製、進氣過濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程控製接口等。隻需要在現場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空係統。該真空係統的控製係統由先進的PLC控製係統經過編程後組成,以觸摸屏為人機界麵,實現對真空係統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護係統等的全自動化控製。
特點
      中央真空係統自啟動後,全部運行過程可以實現全自動控製。在工作中,真空係統內各處的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始終在其允許範圍內上下波動,其波動範圍可根據用戶要求進行調整。使用螺杆真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環真空泵真空係統能達到*佳流程工藝。


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