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中央真空係統特點
日期：2021-01-14 10:20
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摘要：
中央真空係統特點
中央真空係統是由真空泵、PLC程序控製係統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空係統。目前，該係統廣泛應用於電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。
中央真空係統自啟動後，全部運行過程可以實現全自動控製。在工作中，真空係統內各處的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始終在其允許範圍內上下波動，其波動範圍可根據用戶要求進行調整。使用螺杆真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環真空泵真空係統能達到*佳流程工藝。
