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【赫哲真空知識普及】真空泵的分類

日期:2021-01-14 03:11
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摘要: 真空泵分為氣體輸送泵和氣體粘合或捕集泵。氣體容積式真 空泵可以沒有限製地使用,而氣體粘合真空泵具有有限的氣 體吸收能力,並且必須在一定的過程相關間隔進行再生。 氣體容積式泵,也被稱為氣體輸送泵,被分類為往複容積式 泵或動能真空泵。容積泵將密封區域的氣體置換到大氣或下 遊泵級中。動能泵通過機械驅動係統或通過在抽吸部分結束 時冷凝的引導蒸汽流在抽吸方向對氣體進行加速來置換氣 體。氣體粘合真空泵通過吸氣或在合適溫度冷凝氣體的方式 將氣體粘合到特別的活性襯底上。化學吸附是通過被稱為吸 氣泵的泵類型在技術...

真空泵分為氣體輸送泵和氣體粘合或捕集泵。氣體容積式真 空泵可以沒有限製地使用,而氣體粘合真空泵具有有限的氣 體吸收能力,並且必須在一定的過程相關間隔進行再生。

氣體容積式泵,也被稱為氣體輸送泵,被分類為往複容積式 泵或動能真空泵。容積泵將密封區域的氣體置換到大氣或下 遊泵級中。動能泵通過機械驅動係統或通過在抽吸部分結束 時冷凝的引導蒸汽流在抽吸方向對氣體進行加速來置換氣 體。氣體粘合真空泵通過吸氣或在合適溫度冷凝氣體的方式 將氣體粘合到特別的活性襯底上。化學吸附是通過被稱為吸 氣泵的泵類型在技術上進行的,該吸附泵通過蒸發和/或升華 或濺射不斷地產生純淨的吸氣麵。如果要結合的氣體粒子在 與吸氣麵進行相互作用之前在離子吸氣泵中被電離了,則它 們可通過濺射清潔吸氣麵的同時被濺射的材料掩蓋。非蒸散 型吸氣劑 (NEG) 包括反應性高的合金,其主要由鋯或鈦組 成,並且具有非常大的比表麵積。氣體可以通過微孔滲透到 吸氣材料的深層裏,並在那裏結合成穩定的化合物。

真空概覽

圖 4.1: 真空概覽