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由哪幾部分組成中央真空係統?

日期:2021-01-14 11:25
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摘要:
  中央真空係統是由真空泵、PLC程序控製係統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空係統。目前,該係統廣泛應用於電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。
  真空係統的控製係統由先進的PLC控製係統經過編程後組成,以觸摸屏為人機界麵,實現對真空係統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護係統等的全自動化控製。
  工作流程:啟動係統,主真空泵組開始工作,直到真空罐內真空度達到設定的上限值,真空泵自動停止運行,中央真空係統內的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內真空度下降並低於設定的下限值時,備用真空泵組自動啟動。由此循環往複,真空係統的真空度能夠維持穩定的真空源,滿足生產的要求。
  真空係統自啟動後,全部運行過程可以實現全自動控製。在工作中,真空係統內各處的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始終在其允許範圍內上下波動,其波動範圍可根據用戶要求進行調整。


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