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羅茨真空泵的優點及其工作原理

日期:2021-01-14 13:42
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摘要:
羅茨真空泵(簡稱羅茨泵)是一種旋轉式變容真空泵。它是由羅茨鼓風機演變而來的。根據羅茨真空泵工作範圍的不同,又分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(又稱機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。
  羅茨真空泵的*大優點
  在較低入口壓力時具有較高的抽氣速率,但它不能單獨使用,必須有一台前級真空泵串聯。待被抽係統中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時,羅茨真空泵才能開始工作。並且在一般情況下,羅茨真空泵不允許高壓差時工作,否則將會過載和過熱而損壞,因此使用羅茨真空泵時必須合理地選用前級真空泵,安裝必要的保護設備。
  羅茨泵的工作原理
  羅茨真空泵泵腔內,有二個“8”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上,由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間,轉子與泵殼內壁之間,保持有一家的間隙,可以實現高轉速運行。由於羅茨泵串聯使用。
  羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風機相似。由於轉子的不斷旋轉,被抽氣體從進氣口吸入到轉子與泵殼之間的空間內,再經排氣口排出。由於吸氣後的VO空間是全封閉狀態,所以,在泵腔內氣體沒有壓縮和膨脹。
  但當轉子頂部轉過排氣口邊緣,VO空間與排氣側相通時,由於排氣側氣體壓強較高,則有一部分氣體返衝到空間VO中去,使氣體壓強突然增高。當轉子繼續轉動時,氣體排出泵外。
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