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真空與泵浦

日期：2021-01-15 02:34
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摘要：

真空泵浦*重要的性能規格為**壓力( Ultimate Pressure) 以及排氣速度( Pumping Speed) 。**壓力指真空泵可抽到的*低壓力或稱*高真空( Max. Vacuum)； 排氣速度則是指單位時間內泵浦進氣口的容積流量大小，通常以m3/hr 或L/ min表示，而排氣速度之大小會影響真空係統到達指定真空度所需要的時間。真空泵浦依真空度來區分可分為低真空泵浦、中真空泵浦、高真空泵浦)以及超高真空泵浦。由於氣體在低真空時屬黏滯流(Viscous Flow)，氣體的物理行為可視為連續(Continuum) ，真空泵浦可利用機械容積變化進行吸氣、壓縮及排氣的方式抽氣；當氣體於中真空環境時，氣體行為變為過渡流(Transition Flow)形態，其特性較為複雜。 真空度的壓力單位以托耳( Torr ) 以及國際壓力單位，帕Pascal (Pa) *為常見定義為：標準大氣1ATM=760mmHg=760Torr