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無油幹式機械真空泵概述

日期:2021-01-17 06:11
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摘要:

無油幹式機械真空泵 以下簡稱幹式機械泵 是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內無油或其他工作介質,而且泵的極限壓力與油封式機械真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。 

      目前,真空行業使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質,在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大,原有的機械真空泵及其組成的抽無油幹式機械真空泵概述

氣係統出現了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質返流汙染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量,增加設備的維護成本。其次,由於某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質,使泵不能正常工作。 

       對於普通的無油真空係統來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使係統顯得複雜。而使用適當型式的幹式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果。 

幹式機械真空泵的應用是廣泛的,主要有以下幾個方麵:

 1) 低壓化學氣相沉積中的多晶矽製備工藝中;

 2) 半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

 3) 除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的幹式機械真空泵可以滿足要求;

 4) 在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、幹燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成汙染,適合用幹式真空泵;

 5) 用做一般無油清潔真空係統的前級泵,以防止油汙染。