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漢鍾幹式螺杆真空泵故障代碼及處理方法

日期:2021-01-17 19:17
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摘要:
訊息代號
原    因
處  理  方  式
W01 螺旋泵浦高電流
A01 螺旋泵浦高電流
消音器阻塞、廠務排氣管閥門未開,導致泵浦背壓上升
檢查排氣管及消音器
泵浦有異音、機體損壞
停機檢修
泵浦逆轉
更換電源相序
W02 助力泵浦高電流
A02 助力泵浦高電流
泵浦啟動壓力過高
檢查真空壓力開關設定值
泵浦有異音、機體損壞
停機檢修
泵浦逆轉
更換電源相序
W03 螺旋馬達溫度高
A03 螺旋馬達溫度高
冷卻水流量過低
調大水流量
水溫不適當
調節水溫
W04 螺旋殼體溫度高
A04 螺旋殼體溫度高
冷卻水流量過低
調大水流量
水溫不適當
調節水溫
腔體氣體溫度、流量過高
降低氣體量、溫度
W05氮氣質流量過低
A05氮氣質流量過低
管路堵塞
停機檢修
壓力源異常
提供適當壓力
管路洩漏
檢修管路
質流量計異常
檢修質流量計
W06冷卻水流量過低
A06冷卻水流量過低
管路漏水
檢查漏水處
水壓過低
提供適當水壓
水管阻塞
排除堵塞物
出入口方向錯誤
正確連接管路
流量計異常
更換流量計
W07排氣口壓力過高
A07排氣口壓力過高
泵浦消音阻塞
檢查消音器
廠務排氣管阻塞
檢查排氣管路
N2壓力過高
降低N2入口壓力
W08 加熱器流量過彽
管路堵塞
停機檢修
壓力源異常
提供適當壓力
管路洩漏
檢修管路
質流量計異常
檢修質流量計
W09 螺旋泵浦需保養
保養時數快到
注意保養時間
W10 助力泵浦需保養
保養時數快到
注意保養時間
W11 螺旋齒輪油保養
保養時數快到
注意保養時間
W12 助力齒輪油保養
保養時數快到
注意保養時間
W13 螺旋低壓軸承
保養時數快到
注意保養時間
W14 助力低壓軸承
保養時數快到
注意保養時間
W15 消音器需保養
保養時數快到
注意保養時間
W18 通訊錯誤
人機與微控器通訊異常
停機檢修
W19 加熱器溫度過高
加熱器異常
停機檢修
加熱器溫度感測器異常
停機檢修
W20 加熱器錯誤
加熱器異常
停機檢修
A16螺旋馬達失效
馬達線圈燒毀
檢修或更換
A17助力馬達失效
馬達線圈燒毀
檢修或更換
A18 相位錯誤
三相主電源未接妥
接妥主電源
欠逆相
檢查三相電源相序
A19 螺旋熱動電驛
DP熱動電驛設定是否適當
檢查設定值,復歸熱動電驛註1
消音器阻塞、廠務排氣管閥門未開,導致泵浦背壓上升
檢查排氣管及消音器
泵浦有異音、機體損壞
停機檢修
A20 助力熱動電驛
BP熱動電驛設定是否適當
檢查設定值,復歸熱動電驛註1
泵浦啟動壓力過高
檢查真空壓力開關設定值註2
泵浦有異音、機體損壞
停機檢修
A21 螺旋油位過低
油位過低
添加齒輪油
A22 助力油位過低
油位過低
添加齒輪油
A23 緊急開關作動
壓下緊急開關
復歸