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日本島津 SHIMADZU 磁懸浮渦輪分子泵技術參數

日期:2021-01-16 02:22
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摘要:

島津磁懸浮軸承渦輪分子泵采用五軸控製磁性軸承係統,無需使用油潤滑,在運轉過程當中,無任何摩擦,是真正做到完全無油、免維護、全方位安裝的渦輪分子泵。


空冷型
型號 TMP- TMP- TMP- TMP- TMP- TMP-

203M 303M 403M 803M 1003M 2003M
排氣速度L/S (N2) 190 320 420 800 1080 2000
*大吸氣壓力Pa 1.3 0.23
到達壓力(烘烤後)Pa 10-8Pa 10-9Pa



廣域型
型號 TMP- TMP- TMP- TMP- TMP- TMP- TMP- TMP- TMP- TMP- TMP-

203LM 303LM 403LM 803LM 1003LM 1303LM 2003LM 2203LM 3203LM 3403LM 4203LM
排氣速度L/S (N2) 190 320 420 800 1080 1300 2000 2050 3200 3300 4000
*大吸氣壓力Pa 200 400 133 67 40 40 10 10
到達壓力(烘烤後)Pa 10-8Pa 10-9Pa 10-8Pa 10-6Pa 10-9Pa 10-8Pa 10-7Pa