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無油渦旋真空泵的特點與應用領域

日期:2021-01-17 21:10
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摘要:

清潔的真空環境一直是科學家和企業界追求的理想真空環境.自能夠創造真空環境開始,人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果.時至今日,清潔真空獲得設備已經發展到冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產品.在現有的無油真空泵當中,無油渦旋真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有下述特點:

 

    無油,無摩擦——真空腔內無油,非接觸,無磨損,不產生微粒塵埃汙染,可獲得清潔真空;

    ②、抽氣量大——雙渦旋盤,結構與單級相比相同直徑泵抽氣容積為2倍,節省能源;

   ③、抽氣效率高——帶有3-4個抽氣單元,壓差小;大氣與真空之間由O型圈密封,泄漏低;

   ④、非接觸,良好平衡,力矩影響小,噪音低,振動小;

   ⑤、結構簡單緊湊,相同尺寸下,運動半徑小,運行平穩;

   體積小,維修方便,維護費用低;

   采用空氣冷卻,無需水冷。

目前無油渦旋真空泵的應用領域為:

  ①、半導體行業——薄膜製備設備、半導體器件封裝設備;

   ②、科學儀器行業——同步輻射光束線、電子顯微鏡、分析測試儀器;

   ③、機械設備行業——材料製備設備、真空檢測、材料提純設備;

   ④、化學工業;

   ⑤、醫療設備——牙科儀器、透析機、生物製品與藥品製備;

   ⑥、包裝行業——食品、藥品、生物製品等包裝設備。