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如何选择INFICON真空计

日期:2021-01-16 13:06
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摘要:

一,皮拉尼真空计

1.皮拉尼真空计原理

加热电阻丝,使之升温至需要的工作温度

由于气体粒子与 电阻丝碰撞离开时带走了能量,电阻丝的温度会发生变化

热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比例关系

 

2.衍生出两种类型的皮拉尼规

1,稳定温度,测量施加的电压变化等效测量真空度(INFICON PSG500)

2,稳定电压,测量温度变化等效测量真空度(热偶规)

3.气体的热传导,与下列提条件有关:

1,气体类型

2,压力大小

 

4.皮拉尼真空计测量范围与精度

测量范围(空气,氧气,一氧化碳,氮气):5 x 10-4至 1000 mbar

精度(氮气):

1x 10-3 100毫巴

±15%

 

5 x 10-4 1 x 10-3毫巴

±50%

 

100 ... 1000毫巴

±50%

5.皮拉尼真空计的优特点

灯丝部分在不影响精度与速度的情况下,加以*大的保护,大大延长了灯丝的使用寿命

 

6.皮拉尼真空计具体型号

l        PSG050/051

l        PSG100-S  PSG101-S

l        PSG500/500-S PSG502

l        皮拉尼电容膜片复合真空计PCG400 PCG410 PCG550

1.有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起

2.两种原理的规管全过程都工作

3.100 mbar1000 mbar 使用薄膜规信号

4. 1 mbar 100mbar 两规信号同时采用

5.5x10-4mbar 1 mbar 采用皮拉尼信号

6.输出的真空度信号(电压)连续,无跳跃

7.皮拉尼真空计应用行业

l        各种高真空泵的前级压力测量,如光伏,镀膜,等离子行业

l        各种中低真空测量,如照明,冶金

l        真空连锁控制,高真空计的点火开关控制,如PEG100

l        PSG050可完全替代TR211,PSG051可完全替代TR216

l        PCG400 PCG410(现在已升级为PCG550,PCG400/PCG410已经停产)与PSG500 基本相同,但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点,而且不受气体类型的影响,在真空炉,单晶炉,多晶炉,蓝宝石炉上广泛应用

l        PSG100 PSG101,与PSG500/PSG050 基本相同,但因为具有通讯协议功能,在大系统中应用广泛

 

 

二,电容薄膜规CDG025D/CDG045/100/160/200

1.    电容薄膜规工作原理

l        压力使膜片变形,变形量与压力大小成比例关系

 

l        通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度

 

 

2.    电容薄膜规特点

l        以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成

l        在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的**度压强测量

l        快速的预热和恢复时间,提高生产率

l        **的长期稳定性,再现性和重复性

l        由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性

l        对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定

l        快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入 准备使用状态

l        一键按钮: 调零功能和设点调整

l        抗腐蚀超纯陶瓷传感器

l        能经受数百万次压强循环周期,包括大气压 冲击,无任何降低性能的迹象

l        暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀

l        对蒸气介质不敏感

l        先进的传感器屏蔽 (砖利)延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命

3.    INFICON陶瓷技术

l        陶瓷技术的优越性

1,             记忆效应

2,            陶瓷无疲劳问题

3,            **的温度补偿

4,            **的零点稳定性

l        低使用成本

1.      非凡的使用寿命

2.      无需隔离阀

4.    Sky CDG025D测量范围  

5.    加热型薄膜规

6.    加热型优点

l        零飘极小0.1%FS/年(干净真空环境)

l        更高的精度

l        环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响

l        比工艺更快的预热启动时间

l        快速恢复时间 大气压 < 1 min within 5mV

l        任意安装角度

l        抗污染,可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响

7.电容薄膜规的应用

要求高的应用条件下,**而快速的压强测量

l        用于刻蚀,CVD,PVD,ALD半导体设备制造,如太阳能光伏行业的PECVD用的很多,刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多,抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多,如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1  2000sccm/NH3,国内用的好多PECVD设备上用的是INFICON的CDG025D。

l        资料贮存和显示器制造设备

l        工业真空设备

l        常用**度真空测量

 

 

 

三,热电离规

1.热电离规原理

Richardson 效应: 高温灯丝发射电子,高能量电子撞击气体分子,气体分子的一个或多个电子被撞击出去,形成带正电的离子

 

1)带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出

2离子流的大小与气体压力成比例关系

2.    两种类型热电离规

3.    热电离型复合规

l        HPG400

l        BPG400/-SP/-SD/SR

l        BPG402

l        BCG450B-A规,皮拉尼规,薄膜规三种型号复合在一起

l         

4.优点及应用

l       BPG

n        测量范围宽,一个规管覆盖13个量程5x10-10–1000 mbar

n        精度高,极好的重复性5%

n        灯丝材料镀钇的铱丝有极好的抗氧化能力,皮拉尼自锁保护,使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。

n        方便的校准调节

n        注意事项:

u      对气体有选择性

u      抗污染能力弱

n        普遍应用于从低到超高真空的测量

n        在工业,半导体,研究行业应用广泛

l       BPG402

n        双灯丝,大大延长使用寿命

n        电离规的工作可以自定义控制

n        探头备件自带校准参数,保证精度与重复性

l       HPG400

n        电离规与皮拉尼的复合

n        皮拉尼自锁保护电离规

n        电离规的工作启动点可以一定范围内自定义

n        简易的校准功能

n        相对便宜的价格

l       BCG450

n        可调的电离规工作起点

n        **的重复性

n        **的大气端测量

 

 

四,冷电离规(潘宁规)

1.冷电离规原理

通过气体放电方式产生电子,通过磁场使电子获得能量将气体分子电离

 

2.潘宁规特点与应用

l        测量范围:5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar

l        全金属密封

l        无灯丝

l        易清洗

l        应用于普通的高真空测量

3.冷规复合规MPG400特点与应用

l    冷规与皮拉尼规的复合

l    测量范围广: 5x10-9-1000 mbar

l    易于保养清洗

l    无高真空灯丝,

l    应用于普通高真空测量

4.   冷规及复合规性能比较