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真空係統的組成概述

日期:2021-01-18 01:12
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摘要:

真空應用設備種類繁多,但無論何種真空應用設備都有一套排除被抽容器內氣體的抽氣係統,以便在真空容器內獲得所需要的真空條件。舉例來說:一個真空處理用的容器,用管道和閥門將它與真空泵連接起來,當真空泵對容器進行抽空時,容器上要有真空測量裝置,這就構成了一個*簡單的真空抽氣係統。

*簡單的真空係統隻能在被抽容器內獲得低真空範圍內的真空度,當需要獲得高真空範圍內的真空度時,通常在真空係統中串聯一個高真空泵。當串聯一個高真空泵之後,通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門,以便高真空泵能單獨保持真空。如果所串聯的高真空泵是一個油擴散泵,為了防止大量的油蒸氣返流進入被抽容器,通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板(如圖2所示)。根據要求,還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥等等,這樣就構成了一個較完善的高真空係統。

凡是由兩個以上真空泵串聯組成的真空係統,通常都把抽低真空的泵叫做它上上等高真空泵的前級泵(或稱前置泵),而*高上等的真空泵叫做該真空係統的主泵,即它是*主要的泵,被抽容器中的極限真空度和工作真空度就由主泵確定。被抽容器出口到主泵入口之間的管路稱為高真空管路,主泵入口處的閥門稱為主閥。

通常前級泵又兼作予真空抽氣泵。被抽容器到予抽泵之間的管路稱為予真空管路,該管路上的閥門稱為予真空管道閥。主泵出口到前級泵入口之間的管路稱為前級管道,該管路上的閥門稱為前級管道閥,而軟連接管道是為了隔離前級泵的振動而設置的。

 

總起來說,一個較完善的真空係統由下列元件組成:

1.抽氣設備:例如各種真空泵;

2.真空閥門;

3.連接管道;

4.真空測量裝置:例如真空壓力表、各種規管;

5.其它元件:例如捕集器、除塵器、真空繼電器規頭、儲氣罐等。

那麽,究竟什麽是真空係統?用一句話來概括,就是:用來獲得有特定要求的真空度的抽氣係統。

真空係統設計的基本內容:是根據被抽容器對真空度的要求,選擇適當的真空係統設計方案,進行選、配泵計算;確定導管、閥門、捕集器、真空測量元件等,進行合理配置,*後劃出真空係統裝配圖和零部件圖。