文章詳情

漢鍾螺杆真空泵特色

日期:2021-01-14 03:02
瀏覽次數:1057
摘要:
真空泵浦 (Vacuum Pump)也可寫為真空幫浦或是真空泵浦。漢鐘精機PS係列乾式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子 (圖一),在轉子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏汙染的問題。透過專利轉子線形良好的密封效果,終極壓力可達7.5 × 10-3 Torr。螺旋式真空泵浦由於排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉子表麵披覆特殊材質的鍍膜,因此可適用於PECVD、Etching等嚴苛製程。


乾式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) 產品特色


1. 泵浦 (Pump) 溫度控製精準


乾式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計,同時改善殼體的冷卻方式,採用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控製泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加真空泵浦 (Vacuum Pump)的壽命。


2. 密封馬達**性高


真空泵浦亦**採用專利設計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可完全避免製程氣體外漏的風險。


3. 微電腦控製保護周全


真空泵浦亦可配備微電腦控製器,可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的**性保護,十分適用於光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。