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真空係統介紹

日期:2021-01-17 08:58
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摘要:
    真空係統。是由真空泵、PLC程序控製係統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空係統。目前,該係統廣泛應用於電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。
     該真空係統出廠時已經包括了抽速控製、進氣過濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程控製接口等。隻需要在現場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空係統。該真空係統的控製係統由先進的PLC控製係統經過編程後組成,以觸摸屏為人機界麵,實現對真空係統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護係統等的全自動化控製。
     真空係統自啟動後,全部運行過程可以實現全自動控製。在工作中,真空係統內各處的真空度(即真空稀薄程度平均分布)始終在其允許範圍內上下波動,其波動範圍可根據用戶要求進行調整。使用螺杆真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環真空泵真空係統能達到*佳流程工藝。
      **台真空泵啟動後達不到設定所需真空時**台真空泵啟動至達到設定的真空值。當達到所需設定值後**台真空泵停止接著**台真空泵停止循環工作。我司的真空係統可在無人操作情況下對係統進行自動控製,在停電時可自動封閉真空係統。同時控製箱可以保護真空泵馬達過載及短路。

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