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EDWARDS IPUP2真空泵創立加載互鎖和輸送腔體應用新標準

日期:2021-01-14 12:28
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摘要:

精密真空產品和尾氣處理係統**製造商和相關增值服務**供應商Edwards集團有限公司(納斯達克代碼:EVAC)已經推出了針對應用材料公司製造平台的加載互鎖和輸送腔體應用的全新集成式真空泵IPUP2。該**代泵在加載互鎖抽真空時間、能耗和維護要求方麵具有明顯優勢,這些先進性能結合起來為其帶來同類*佳的性能和擁有成本。該泵已經獲得初步成功,在應用材料公司的多類新設備平台上取得了使用認證,並且已經向主要半導體製造商提供超過180套係統。

Edwards公司銷售總經理馬克•格林(Mark Greene)評論說:“草莓芭乐视频非常努力地工作,達到並超越應用材料公司對新一代泵的要求。IPUP2先進的設計減少抽真空時間50%左右,能耗節約70%,在大修間隔期免維護。很多半導體製造廠商,甚至那些與芭乐最新app官网下载競爭對手長期合作的製造廠商, 很快通過這些訂單認識到了IPUP2的抽氣能力和擁有成本優勢。”

  IPUP2是為滿足應用材料公司的加載互鎖和輸送腔體抽真空規格而設計。IPUP2的抽氣速率和功率曲線得到了優化,以增加機台產出能力,*大抽速可達180 m3/h,與**代相比快89%,抽真空時間縮短54%,同時能耗節約70% (使用“綠色模式”還可進一步節能)。該泵中采用的精密軸承確保運行平穩、低震動,機油潤滑的軸承和定時齒輪使得大修之間無需常規維護。IPUP2包括水平和垂直進氣口,其尺寸和配置能夠與前一代泵直接互換。在測試中該泵的得分很高,平均故障間隔(Semi E10標準的MTBF)為5年,可實現超過300萬次加載互鎖工作循環。