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EDWARDS發布用於LED和化合物半導體製造的新型真空泵

日期:2021-01-13 20:30
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摘要:

全球**的**真空設備和尾氣處理係統製造商及相應增值服務供應商Edwards公司宣布推出新的iXH645H幹泵,新設備經過優化,適用於LED製造中使用的MOCVD工藝,以及在柵堆疊(gate stack)中使用III-V材料的化合物半導體製造工藝。請參觀Edwards公司在InterSolar展會和SEMICON/West展會的5351號展台,以便了解有關iXH係列的更多信息。上述兩個展會將於2012年7月10-12日在美國加利福尼亞州舊金山舉辦。

iXH645H提供了非常高的氣流量,並能夠在*新一代LED製造設備所需的高負載下連續工作。iXH係列幹泵采用先進的技術,*大限度地減少了維護需求,並實現正常運行時間*大化,有助於降低成本。


EDWARDS新型真空泵



Edwards公司LED市場經理邵偉稱:“iXH係列幹泵的新成員是設計用於滿足兩個快速發展的高技術製造細分市場的需求。由於具備出色的照明效率,LED照明產品逐漸被視為白熾燈照明的環保替代選擇,草莓芭乐向日葵污app下载看到,中國、韓國、日本和英國*近通過立法,將逐步淘汰傳統的大功率照明產品。”


邵偉補充道:“同時,在化合物半導體製造中使用III-V材料,正在推動摩爾定律(Moore’s Law)延續到下一代設計節點。”


LED和化合物半導體製造工藝通常使用大流量氕氣和高腐蝕性氨氣。iXH645H業已進行設計優化以滿足這些要求,具有出色的氫氣抽空性能並采用耐腐蝕設計,包括一個保護泵密封物的磚利氮氣吹掃屏障(purge barrier)。XH645泵具有高溫工作能力,有助於防止可能出現的磷化合物冷凝。另外,該泵先進的油潤滑和密封技術省去了定期保養需求,同時其散熱和電機設計可以防止出現過熱、電機過載或工作區域受限等問題。iXH645H泵的優化溫度控製係統確保泵在約30分鍾啟動時間內為工藝做好準備。