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Edwards*新推出iXH500H係列幹泵

日期:2021-01-14 12:39
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摘要:

真空和尾氣處理設備及服務供應商Edwards公司擴展其廣受歡迎的應用於嚴苛工藝的iXH產品係列,*新推出iXH500H係列幹泵。新的500m3/h幹泵係列針對需要較高氣體流量和靈活泵溫範圍的平板顯示器、太陽能和先進半導體工藝而優化,具有較低的能耗和較長的平均維護間隔時間(mean time between servicing, MTBS),從而顯著降低了擁有成本,同時具備iXH450係列的小占位麵積和氫氣抽取能力。


Edwards平板顯示器(FPD)和太陽能部門幹泵產品經理Allister Watson博士表示:“iXH家族的新增係列設計用於應對平板顯示器、太陽能和先進半導體工藝中遇到的不同抽取挑戰,能夠顯著延長泵的平均維護間隔時間。迄今為止,行業缺乏具有應對這些不同挑戰靈活性的一體化嚴苛工藝幹泵。而iXH500H係列具有更靈活地泵溫控製,能夠滿足這一需求,同時減少多達15%的能耗。因而相比上一代iXH幹泵,iXH500H的擁有成本降低了30%。”

平板顯示器、太陽能和半導體製造商使用的真空泵必須適應廣泛的工作條件和材料。iXH500H係列具有溫度靈活性,因而適用於這類嚴苛工藝。iXH500H係列在低泵溫下運行,有益於使用高流量腐蝕性氣體的工藝(例如,FPD PECVD、薄膜太陽能PECVD、半導體MOCVD),或使用熱敏前體(pre-cursor)(例如原子層沉積)能夠在泵內沉澱副產物的工藝。在有副產品物在泵內冷凝風險(例如高k電介質沉積)的場合,可以選擇高工作溫度的泵。

Edwards現可提供iXH500H係列幹泵,並提供從現有的iXH450係列轉換至新型iXH500H係列的升級服務。