新聞詳情
所在位置: 首頁> 公司新聞> 行業新聞>

Edwards宣布iXH新一代幹泵銷售量突破1000大關

日期:2021-01-14 12:41
瀏覽次數:550
摘要:

全球真空和尾氣處理設備和服務的主要供應商Edwards近日宣布,自2008年2月推出以來短短一年時間已經向半導體太陽能製造商售出1000套應用於苛刻工藝的iXH新一代幹式真空泵。

 “太陽能和新半導體製造工藝(如砷化镓化合物半導體)要求能夠處理大流量氫氣的真空技術,”Edwards公司的CEO尼格爾-漢頓(Nigel Hunton)說,“iXH係列幹泵是為解決這些難題而特別設計的,它擁有更長的使用壽命和更低的動力消耗從而減少了運行成本。iXH真空泵在業界的迅速推廣證明了它能成功應對這些挑戰。”

  氫氣是一種難以抽取的氣體,因為它分子量小,粘度低。iXH真空泵係統采用一係列具有高抽氣速率的幹式泵和增壓泵以達到*佳的壓縮比,從而實現高效率地抽取氫氣。該係統為模塊化設計,可靈活配置,因此易於滿足各種太陽能和半導體製造工藝中的現場安裝和性能要求。部件可以上下堆疊,從而達到業內**的占地麵積。各種型號的 iXH真空泵可針對具體應用要求靈活配置,並且由單個控製器進行管理,對操作人員而言這是一種簡單易用、可無縫集成的真空係統。

  與Edwards上一代真空泵相比,用於苛刻工藝的iXH幹式真空泵係列具有更大的處理能力和較低的運行成本(CoO)。運行成本的下降是通過能耗下降10%、維修間隔延長以及意外停機時間減少而實現的。產品操作溫度範圍廣(有助於降低副產物的沉積),粉末處理能力顯著增強,並采用獨特的氣體分配技術以及一種延長工藝壽命並減少泄漏危險的**的真空泵密封技術。