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普發真空(Pfeiffer Vacuum)發布新款節能型幹泵 A 100 L ES

日期:2021-01-14 13:06
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摘要:
  • 節能50%以上
  • 結構緊湊、高抽速
  • 清潔製成的理想選擇

A 100 L 緊湊型幹泵是專為半導體領域生產設備靈活集成的要求而量身定製開發的一款 產品。這款幹多級羅茨泵是加載互鎖真空室(load-lock chambers)、晶片傳送室(transfer chambers )和其他無腐蝕應用(noncorrosive applications)的清潔製成環境中的理想選擇。

盡管這款幹泵結構緊湊體積小巧,但她依然能夠帶來強大的抽速和高速響 應的停機時間。現今,A 100 L幹泵已經廣泛應用於全球**的半導體工廠,並且非常適用於無塵室工作 事。

在A 100 L基礎上研發的新款A 100 L ES(ES=Energy Saving)係列經過測試能夠節能50%以上,在低壓範圍內其抽速表現依舊 強大。並且比A 100 L具有更低的極限壓力和噪音。

一個典型的案例:300毫米製成的半導體工廠在加載互鎖真空室(loadlock) 裝備1300台泵,一年能夠節約10GWh以上的能源,相當於大約36萬 歐元,5.1噸的二氧化碳排放。

此外為了節約能耗,A 100 L ES的極限壓力降低到了7x10-4 mbar (hPa)。這開創了在要求低壓環境下提高抽氣速度新的潛在應用。同時泵的 噪音從58 dB (A)下降到了55 dB (A)。A 100 L ES無疑填補了草莓视频芭乐视频在light
duty process中產品節能的要求,就好比草莓芭乐向日葵污app下载在medium duty process中A3P係列和harsh duty process中A3H係列一樣都能提供**的節能產品。

Dry pumps A 100 L ES