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Edwards:新型真空泵*大化提升性能

日期:2021-01-14 08:46
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摘要:
英國克勞利--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)--Edwards Limited是一家全球**的真空設備和尾氣處理係統製造商及相關增值服務提供商,該公司近日推出了其STP-iXA4506大容量渦輪分子泵 (TMP)。這款產品旨在為半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池板製造商節省更多成本。

Edwards:新真空泵*大化提升性能
  
  Edwards TMP產品營銷經理Shinichi Yoshino 表示:“新型STP-iXA4506渦輪泵是擁有改良抽氣性能的一體化解決方案。它采用了Edwards*新的轉子設計和成熟且高度可靠的iXA係列機載控製器,使容許的通過的氣量*大化,從而使高流量過程所需的渦輪泵數量減至**,尤其是在太陽能和平板應用中。泵集成的控製器免去了對線纜和獨立控製器機架的需求,因而也節省了成本,體積緊湊易於在各種應用中快速安裝。此外,就像草莓视频芭乐视频所有的磁浮式渦輪泵一樣,無需機械軸承的特性幾乎免除了定期維護的成本。”
  
  這款渦輪泵的高抽速度(4300 l/s N2) 和高流量(高達4300 sccm N2)結合其有效抽吸輕氣體和重氣體的能力,使STP-iXA4506非常適用於許多不同的大流量、高流動性應用,包括半導體蝕刻、LCD蝕刻、玻璃鍍膜、太陽能PVD和PVD鍍膜。其高度集成的設計包括一個完全密封的電子模組,以在*嚴苛的工廠環境中實現穩健、可靠的操作。需要時還可增加一套加熱係統,以減少來自工藝過程中副產物的沉積物和微粒的堆積。