產品詳情
  • 產品名稱:Hanbell PS602 漢鍾真空泵維修 幹式螺旋真空泵保養

  • 產品型號:PS602
  • 產品廠商:其它品牌
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簡單介紹:
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詳情介紹:
漢鍾真空泵維修 漢鍾螺杆泵維修 漢鍾幹式螺杆真空泵維修
PS80 PS160 PS250 PS602 PS902 PS1302 PS1802
標準維修車間 標準維修治具 標準軟件清零 標準Overhaul流程工藝維修
HANBELL 真空泵精修 漢鍾真空泵保養

漢鍾幹式真空泵 包括台灣漢鍾幹式螺杆式真空泵

PDR係列 包括機型 漢鍾真空泵 PDR100 , 漢鍾真空泵 PDR602, 漢鍾 真空泵 PDR1202 
PS係列     包括機型 漢鍾真空泵PS80 ,漢鍾真空泵PS160,漢鍾真空泵 PS180,漢鍾真空泵 PS602,漢鍾真空泵 PS1302

台灣漢鍾真空泵PS係列產品特點 螺旋真空泵浦產品特色
  
  漢鍾精機PS係列幹式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉子,在轉子間維持微小的間隙,使得真空泵浦運轉時腔體內無需潤滑,因而無油氣回漏汙染的問題。透過磚利轉子線形良好的密封效果,**壓力可達7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由於排氣路徑短,粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強,加上轉子表麵披覆特殊材質的鍍膜,因此可適用於PECVD、Etching等嚴苛製程。 泵浦溫度控製精準
  
  漢鍾精機PS係列幹式螺旋真空泵浦,承襲上一代真空泵浦優良的轉子設計,同時改善殼體的冷卻方式,采用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度,能夠更精準地控製泵浦內部溫度,減少沉積物的產生,增加真空泵浦的壽命。 密封馬達**性高
  
  PS係列真空泵浦亦**采用磚利設計的水冷罐裝密封馬達,除了能維持更低的馬達運轉溫度增加馬達的壽命外,也可完全避免製程氣體外漏的風險。 微電腦控製保護周全
  
  PS係列真空泵浦亦可配備微電腦控製器,可同時監控馬達電流、馬達溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低,提供真空泵浦完整的**性保護,十分適用於光電、半導體、太陽能與TFT-LCD等產品穩定性要求極高之產業。










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