產品詳情
  • 產品名稱:iH600 愛德華真空泵維修

  • 產品型號:iH600
  • 產品廠商:其它品牌
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簡單介紹:
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詳情介紹:

Edwards iH 幹泵為高難度的製程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品)提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 係列具有五級主泵,使用**的懸臂式轉子、爪式和羅茨設計,可改善粉塵的處理,減少排氣噪音。此外,iH 係列泵配有一台單級機械增壓泵和完全封閉的水冷卻電機。

Edwards *級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照*高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間並提高生產率,同時*大程度地減小占地麵積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能。
 
iH 係列為難以執行的製程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 製程)提供了高可靠性。

功能和優勢

優化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便於顆粒的處理。
在節省電機功率的同時*大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的製造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的**保證。
整體式軸杆無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要並消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地麵積。

應用

負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 製程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

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